設備概況

尺寸(參考)：約3500（L）*1500(W)*2000(H)（具體尺寸根據(jù)實際圖紙確定）

清洗件規(guī)格：一次性可裝8寸晶片25pcs

典型生產(chǎn)節(jié)拍：5～10min/籃（清洗節(jié)拍連續(xù)可調(diào)）

門：不銹鋼合頁門+PVC視窗

主題構(gòu)造特點

設備由于是在一個腐蝕的環(huán)境，我們設備的排風方式，臺面下抽風，每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨的抽風裝置。

設備結(jié)構(gòu)外型，整機主要由機架、工藝槽體、機械手傳輸系統(tǒng)、排風系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。

由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強，設備需要做防腐處理：（1）設備機架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑；（2）殼體采用鏡面SUS316L不銹鋼焊接，制程區(qū)由耐腐蝕的SUS316L板材組合焊接而成：（3）電氣區(qū)設置在設備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)隔離；（4）槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料；（5）機械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理。

應用領域

集成電路、聲表面波（SAW）器件、微波毫米波器件、MEMS器件、封裝等

設備制造商

南通華林科納半導體設備有限公司 ；